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安捷伦涡轮分子泵系统的操作注意事项

（1） 不能在前级泵工作时（前级管道接通） 和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉，否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。

（2） 分子泵系统在停机充干燥气体前，一定要先将分子泵冷却水关闭，且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。

（3）选择抽气系统前级泵的大小时，应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。

（4）不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运转。

（5）分子泵入口应装设防护网，以避免异物进入泵内损坏泵转子和定子叶片。

安捷伦涡轮分子泵系统的操作注意事项

尽量避免频繁启停

分子泵在匀速工作时，转子叶片仅受到离心力的作用（真空下阻力很小可以忽略不计），即远离轴心的方向的拉力；而在加速和减速的时候，叶片还受到转动切线方向的力，相当于对叶片进行弯折的力。显而易见，对叶片进行弯折对其疲劳寿命的贡献更大。

另外，分子泵在加速时功率较大，内部发热比较严重，频繁的启停（两次启动间隔<30 分钟）会造成热量累积，使分子泵内部的温度过高，加剧轴承磨损。

根据工艺条件选择适当的冷却

分子泵的冷却方式有三种：自然冷却、强制风冷和水冷。300 l/s 以下的分子泵，在没有气体负载的情况下，可以采用自然冷却；较大的分子泵或者有一定的气体负载时，需要选择强制风冷（风扇冷却）；对于有些负载很大的应用（比如CVD），或者不方便使用风扇的环境（如辐射环境），需要采取水冷。